半导体制造关键原料面临断供,光刻机一哥急寻备胎!
ASML公司CEO表示:正在为工厂使用的少量氖气寻找其他来源!
乌克兰生产了全球70%的氖气,
这是半导体制造中的关键原料,
用量不多但非常重要!!
氖气是惰性气体中的一种,在半导体工艺中惰性气体是一种重要材料,
在DUV深紫外光光刻时代,产生DUV光源就需要多种惰性气体,然后与卤素分子混合,
再使用电子束能量激发才能产生DUV波长的光,最后再用于芯片制造,
中国氖气价格已经从2021年10月份的400元/立方米,
上涨到目前超过1600元/立方米,涨幅超300%!!
中泰股份、凯美特气等……
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